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为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出抑振系数的概念。
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研究了石英调谐音叉控制T-S间剪切力作用的机制,建立了音叉T-S系统的振动方程,理论分析了音叉电流I和T-S间距d的关系,建立了T-S间剪切力作用机制模型。
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论文介绍了同AFM相关的基础理论,主要包括扫描探针与样品间原子力作用机理、微悬臂在原子力作用下的形变位移及其检测等;
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文中利用样品架作为探针对Ar,H2,O2及N2O等气体的DECR等离子体特性作了定性的实验研究和分析。
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采用四引线法测量了该结构的RT曲线和固定温度下的IV曲线,发现其IV曲线呈现多个台阶结构,台阶的数量和位置都随温度变化而变化。
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